随着 5G 通信、新能源汽车、物联网、人工智能等新兴产业的发展,中国半导体材料行业发展态势蓬勃,未来更是具有广阔的发展空间和飞速的增长趋势。
在我国江苏省,有一家亚太地区领先的高纯电子化学品和电子气体的产品供应商,专注服务于集成电路、平板显示器、LED 等行业。VEGA 仪表凭借高品质材料以及出色性能,为企业的生产过程和储存系统提供了可靠的物位测量数据。
有哪些电子化学品需要测量?
双氧水、超纯水、氟化铵、氢氟酸是半导体材料行业常见的化学物质。物位仪表不仅为其生产过程中的物料平衡控制提供了可靠依据,还能够优化生产工艺、提高产品质量,并增强生产过程中的安全性和环境友好性。
VEGA 雷达物位计的主要应用场合包括:
〇电子级高纯双氧水生产
在先进的蒽醌法工艺过程中,需精准监测液位,严格控制物料配比,确保产品质量符合电子级标准。
〇超纯水制备
芯片制造离不开电阻率高达 18.2 MΩ·cm 的超纯水,在这里使用的仪表必须具备极高的清洁度。
〇氢氟酸生产
生产过程中需要将萤石粉与浓硫酸按一定比例混合,过程中的强粉尘与氢氟酸的挥发性对物位测量而言都是不小的挑战。
〇液氨储罐
企业生产所需的超纯氨腐蚀性强、渗透性强,极易损坏仪表电子部件,需要仪表同时满足对密封性和金属材料抛光度的高要求。
〇氟化铵合成
合成过程中需要将氨气通入氢氟酸溶液,要求仪表具备良好的耐腐蚀性能。
〇酸类产品生产
作为电子材料的酸类产品需要在生产中优化反应条件、加强提纯与精制工序,从而保障产品纯度,因此对物位测量的精度与可靠性要求更高。
〇有机溶剂生产
丁酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、石油醚等有机溶剂的生产均在严格的质量控制体系下进行,以保证产品的低杂质含量与高纯度。
在电子级化学品的生产过程中,不但有化工行业普遍存在的腐蚀、气相挥发、搅拌等典型工况特征,还需要满足接液材质脱油脱脂和高纯度的特殊需求。
针对电子化学品测量,VEGA 的 80GHz 雷达物位计有 5 大应用优势:
01材料耐腐蚀性强
PTFE 等天线材质具备出色的化学稳定性,无论是面对氢氟酸、硫酸等强酸,还是氨水等碱性溶液,都能保持良好的性能,满足电子化学品生产对防腐的高要求。
02第二道防线提升密封性
VEGA 仪表可配备耐腐蚀的玻璃密封作为第二道防线,严格防范有毒气体逸出,保障运行可靠性与生产安全。
03满足脱油脱脂要求
VEGA 为仪表提供脱脂脱油清洁程序,这对于电子材料生产至关重要。在超纯水以及对纯度要求极高的电子级化学品的生产过程中,哪怕微量的油脂都会影响产品质量。
04高品质材料确保物料无污染
VEGA 雷达物位计的金属部件抛光度出众,完全满足用户对光洁度的要求。同时,其 PFA 塑封天线采用特殊的 Daikin AP-230 材质,PFA 纯度非常高,满足电子材料行业对天线接液材料的纯度要求,可避免物料被杂质污染,深受用户青睐。
05在各种工况下都能可靠测量
在面对诸如搅拌、挥发、结露等复杂工况时,VEGA 雷达物位计凭借高聚焦和高信号动态范围,成为应对复杂工况的理想选择。
氢氟酸测量的回波曲线:物位信号清晰可见
目前,国内半导体产业发展迅速,对湿电子化学品等半导体材料的需求不断增长。VEGA 雷达物位计凭借满足行业要求的接液材质与出色的测量可靠性,为半导体材料行业的物位测量提供了一个成功范例。
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