在半导体芯片的精密制造场域里，毫厘温差，足以定义成败。每一次沉积、每一道蚀刻，温度曲线的轻微扰动，都可能影响最终良率与品质。
谁来为高端制造，筑牢“温度”这一生命线？
凭借对精密制造场景的深刻理解与技术积淀，台达正式推出高精度模块化温度控制器DTDM系列，为半导体等精密制造而生的控温利器，重塑精密温控新标准。
核心亮点：定义温控新高度
●精准锁温：±0.1%高精度量测+10ms高速采样，将温度波动牢牢锁死。
●协同控制：PID串级控制算法，内外环协同工作，快速抑制滞后与超调。
●弹性扩展：模块化架构，支持32通道自由扩展，一对多控制节省成本。
●高速互联：EtherCAT高速网络，即插即用，数据实时互通。
直击痛点：守护半导体制造“温度生命线”技术
●满足多区加热需求：
通过灵活构建多达32路的独立温控单元的独特优势，为半导体加工解决从紧凑型设备到大型多区加热系统的全方位需求。
●温控精准可靠：
集前馈补偿、PID串级、14点温度校正于一体，不仅能快速响应，更能预见干扰，实现真正的稳定与精准。
●智能可靠守护：
一对多控制：在需要多点控温的场景，仅通过单一测温点的温度信息，即可以自订比例的方式实现多通道的加热控制输出，大幅提升效益。
输入冗余切换：传感器故障瞬间无扰切换，保障生产零中断。
多通道温差监控：实时比对，异常温差即刻预警，确保工艺均匀性。
●无缝数字集成
内置状态数据库与逻辑运算能力，是连接设备层与信息层的智能节点，让数据流动更顺畅。
台达DTDM系列，已准备就绪，驾驭毫厘温差，铸就非凡工艺。