预测性泄露检测的方法

发布时间：2005-12-06

　　泄漏检测比较复杂，特别是在制药行业的高速度制造过程中。其中较为突出的问题是，整个过程是在压力（或真空）环境下完成稳定运行所需要的时间。随着循环时间减少，实现可靠的泄漏检测的困难就随之增长。为了避免多种泄漏检测所需要的过多的设备成本，预测性泄漏检测的需求不断增长，用于降低泄漏检测的循环时间。预测性泄漏检测采用泄露率测量的方法，要求在元件完全稳定前，从一个完全稳定的测试中得出最终的泄露速率数值。
　　以下是一些比较典型的泄露检测的方法：
 
　　泄露率呈线性比例：采用一个比例因素用于测量泄露率，这样在简单测量后，测量值与全程测量可保持一样，只有最后得到的值需要与泄露限制相比较。这种方法的局限性是忽略了泄露率的形成和压力波动，直到最后测量时候。即使有部分或过程中的异常现象，也会表现出一个正确的泄露率，但是事实上，其中却存在问题。
 
　　非线性：在额定的泄露率以上，非线性关系会出现，特别是在简单泄露值和完全标准的状态之间。因此，使用线性测量预测最终的泄露率是不准确的，特别是对于整个过程部分。在测量过程变短时，情况会更糟糕。这种方法的优点在于非线性测量考虑了多种关系因素，相比于线性测量，能更为准确地预测最终的泄露率。
　　针对过程曲线的持续验证：在过程中或某个部分中会出现异常状况，这些异常状况会产生不规则的压力和泄露率曲线，是否能检测出这些异常状况是非常重要的。为了实现这个，必须在整个测试测量过程中持续监控信号，并以预先设定的限制条件为参考。需要特别指出的是，一个测试系统可设置成可靠完成或是失败完成，几乎全是由这些限制条件决定的。当需要一个实际的泄露率值时，可采用上述两种预测方法中的任何一种。